低温液氮探针台产品特征
1. 真空腔体:真空度优于6 X 10-4Pa。降温后优于6 X 10-5Pa。留有2个用户法兰接口(可接入气体或者额外的电缆);
2. 探针控制:标配4个探针臂。调节范围50mm*50mm*25mm, 调节精度优千10um。每个探针臂配备Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆。
3.显微镜模块:连续变倍单筒显微镜, 光学放大倍率:0.5X~3.75X(使用0. 75X附加物镜时),视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优千2um。全高清数字摄像头, 带同轴照明和环形照明,带机械调焦和光学调焦。
4.变温样品台:50mm直径。变温范围:80K~475K。控温稳定性优于土0. 01 K;
5. 可选配接入光纤, 可将一根或几根电学探针替换为光纤;
6. 系统直流漏电低千100fA。
7.产品含进口分子泵机组、 全量程真空规和智能温控仪。