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微型真空探针台的组成有哪些?

2022-08-29 08:46:00

微型真空探针台的组成有哪些?

样品台(载物台):是定位晶圆或芯片的部件设备。通常会根据晶圆的尺寸来设计大小,并配套了相应的精密移动定位功能。

光学元件:这个部件的作用使得用户能够从视觉上放大观察待测物,以便准确地将探针对准并放置在待测晶圆/芯片的测量点上。有的采用立体变焦显微镜,有的采用数码相机,或者两者兼有。

卡盘:有一个非常平坦的金属表面,卡盘用夹具来固定待测物,或使用真空来吸附晶圆。

微型真空探针台

探针(探针卡):待测芯片需要测试探针的连接,才能与测试仪器建立连接。常见的有普通 DC 测试探针、同轴DC测试探针、有源探针和微波探针等。探针头插入单个探针臂并安装在操纵器上。探针尺寸和材料取决于被探测特征的尺寸和所需的测量类型。探针尖直接接触被测件,探针臂应与探针尖匹配。

探针夹具及电缆组件:探针夹具用于夹持探针、并将探针连接至测量仪器。电缆组件用于转接、延展探针夹具上的电缆组件。

操纵器(定位器):探针台使用操纵器将探针放置在被测物上,它可以很容易地定位探针并快速固定它们。通常使用磁铁或真空把它们固定在适当的位置。一旦固定,操纵器可以在X、Y和Z方向上准确定位探针,并且在某些情况下提供旋转运动。


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