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半自动低温探针台是一款高精度半自动探针台

2022-06-08 11:06:08

半自动低温探针台是一款高精度半自动探针台。半自动探针台适用于高真空环境中最大200mm晶圆或衬底测量,用液氮制冷至77K或用液氦制冷至20K。半自动低温探针台专为工业环境和主要研究单位而设计,支持硅、化合物半导体和超导器件的直流和射频测量,MENS和光电测试等广泛应用。半自动低温探针台主要特征:

一,灵活性

用于直径高达 200 mm 的晶圆或单一裸片的不同衬底载体

探针卡和/或多达 8 个针座

用液氮或氦使用,根据目标温度

可提供附件,比如:黑体和光学运动分析工具

针对 300 mm 晶圆的任选升级

专为工业环境而设计

涵盖广泛的测量(I-V、C-V、RF、MEMS、OPO)

非常适合于小结构

半自动低温探针台

二,稳定性

◦低至 77 K(液氮)或低于 20 K(液氦)的无冰和无凝结探查

探针座被置于真空室的内部

◦短且稳定的探针臂

◦具有内置隔振设计的坚固探针台框架

◦任选的显微镜

◦精确的探针定位

◦良好的测量准确度和重复精度

◦良好的减震作用

◦对于高分辨率显微镜稳定的图像质量

三,简单易用

◦操纵杆控制器

◦具有旋转贯穿件的手动探针定位器

◦通过装载门提供了前装能力

◦舒适和简易的操作

◦DUT 的快速且符合人体工程学的变更


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