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探针台厂家介绍半自动探针台的技术指标

2022-05-30 09:41:18

半自动探针台是一种用于信息科学与系统科学领域的分析仪器,探针台厂家生产的自动探针台通过和外接的测试仪器4156C以及温度控制设备TP03000A的连接,组成一个测试平台,完成对器件封装前的电性能测试(电阻,C/V,击穿特性等)。

半自动探针台

半自动探针台技术指标:

支持4,5,6寸wafer 分辨率0.25um 提供4个SMU接口,可同时输出(测量)四路直流信号。 每个SMU最大输出电压100V(-100V),最大输出电流1A 测量功率100V*10mA。 开路漏电流20fA。


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