外形（W*D*H） 1000mm*1400mm*1400mm， 1100mm*1500mm*1400mm，1200mm*1600mm*1400mm
重量 约1 000KG 约1150KG 约1350KG
电力需求 AC220V，50~60Hz
CDA需求 0.4~0.8Mpa
Chuck 尺寸 6″ 8″ 12″
X-Y轴行程 200mm*300mm 250mm*400mm 350mm*500mm
X-Y轴移动解析度 0.1μm X-Y轴重定位精度 ≤±1μm X-Y移动速度 ≥70mm/sec
Z轴行程 20mm Z轴移动解析度 0.1μm Z轴重定位精度 ≤±1μm
Z轴移动速度 ≥20mm/sec Theta角度行程 ±10° Theta角度解析度 0.0001°
样品固定方式 多孔真空吸附，独立分开控制 更换样品方式 Chuck快速拉出
结构 三轴超低噪声设计，镀金，电学独立悬空（chuck可作为背电极）
针座平台 O型平台，最多可放置12个针座（不安装八角盒时）
显微镜X-Y-Z X-Y轴行程 2″* 2″ ；X-Y轴移动解析度 0.1μm；X-Y轴重定位精度 ≤±2μm；X-Y移动速度 ≥10mm/sec；Z轴行程 5″；Z轴移动解析度 0.1μm；Z轴重定位精度 ≤±1μm；Z轴移动速度≥10mm/sec
变倍显微镜 15：1三档变倍显微镜，可同时显示低倍和中倍/高倍画面，便于点针操作
双相机 （200W或者500W 工业级数字相机）
点针规格 点针精度10μm / 2μm / 0.7μm；X-Y-Z行程12mm-12mm-12mm
漏电精度 10pA / 100fA / 10fA
接口形式 香蕉头/同轴 /三轴/ SMA /SHV等
固定方式 磁力吸附 / 真空吸附
温控组件 温度范围﹣60℃-200℃（标准）
温控稳定性 ±0.1℃
温控分辨率 0.01℃
噪声 ＜50dB
加热方式 低压直流加热/PID控制
制冷方式 压缩机制冷
减震方式 空气薄膜减震系统，确保2000X放大时画面不抖动
震动抑制 在运动过程中以及起始或者停止时能够极快的速度保证设备的平稳≤1S，提高测试效率。
系统屏蔽 EMI屏蔽 > 30 dB (typical) @ 1 kHz to 1 MHz
光衰减 ≥ 130 dB
光谱噪声基底 ≤ -180 dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz)
系统交流噪声 ≤ 5 mVp-p (≤ 1 GHz)
特点、应用
超高的测试精度，效率和稳定性；便捷的仪器接入；多倍率同时显示光学系统可升级大功率晶圆测试；（-60~200℃）超低噪声高低温Chuck；可升级射频测试；功能丰富的测试软件；可升级全自动测试。
