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    探针台的选型指南

    2022-01-21 08:51:47

    探针台的选型指南:

    1、 最大需要测几英寸的晶圆或者器件? (确认卡盘尺寸)

    2、 点测样品的尺寸规格为多少?100um*100um或60um*60um的pad,还是FIB制作的mini pad,还是ic内部的metal? (确认针座精度)

    3、 最多需要几根探针同时去点测? (确认探针座数量)

    4、 光学显微镜的最小分辨率需要用到多少? (确认显微镜放大倍率)

    5、 显微镜方面,是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测?

    6、 探针点测时,对电流的要求是否达到100fa或者以下?低电容的要求是否要做到0.1pf?是否有射频的需求? (确认探针夹具型号)

    探针台

    7、 接驳的测试仪器接口有哪些? (确认线缆接口形式)

    8、测试环境时是否会需要加热或者降温? 范围是多少?

    9、对chuck的漏电要求怎样?是否需要添加低阻抗chuck?

    10、是否需要防震桌?

    11、若添置防震桌,是否有压缩空气?


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