什么是自动探针台?自动探针台是一种用于电子与通信技术、计算机科学技术领域的工艺试验仪器。主要用于晶圆测试,晶圆尺寸:4英寸,6英寸,8 英寸,12英寸晶圆片装卸:1个载片盒 (25 或者 26 个片槽),连续的可编程双向加载,快速单片晶圆手动上下片,防晶圆交叉保护 XYZ- 精度:±3微米。
二、 主要功能
1. TTL专用测试仪接口;GPIB/RS232/网络接口(选配);与测试机连接方便;
2. Windows风格界面,动态显示测试过程,MAP图实时显示、存储;
3. Map导航功能,map编辑(可编辑标注DIE属性、测试区域);
4. 自动测试方式有矩阵、圆形方式、Map方式;
5. 图像对准功能,自动扫描,自动首点对准;
6. 同步打点、离线打点功能(可导入map);喷墨打点,墨点尺寸0.5mm;
7. 分级权限管理;
8. 控制打印机打印测试结果;
9. 配合上位机,上传并记录测试数据。
三、使用环境:
1. 电源:AC 220V±22V 50Hz±1Hz,功率:<1.5KW
2. 压缩空气源:> 0.7MPa,10L/H
3. 使用环境:温度:15C-25C 相对湿度:<70%